Южнокорейские специалисты разработали технологию, которая позволит существенно повысить производительность установок, работающих с тонкими пленками. В частности, ее можно использовать при изготовлении панелей OLED.
Разработка касается этапа отделения тонкопленочных структур от подложки. Сейчас слои переносятся по одному, что сопряжено с высоким риском повреждения, а поскольку панель OLED может включать до 20 функциональных слоев, итогом становятся большие затраты времени и снижение процента выхода годной продукции. Источник называет процесс переноса основным препятствием к освоению массового выпуска панелей OLED.
Исследователи предложили использовать для отделения потока газа под давлением. Причем многослойная структура переносится за один прием. Поток газа не только аккуратно отделяет пленки, но и уплотняет структуру, дополнительно скрепляя слои между собой ее.
Тонкопленочные структуры, полученные таким способом, имеют более высокое качество поверхности — неровности не превышают 5,2 нм, тогда как старая технология обеспечивает показатель 47,3 нм. Технология может найти применение при производстве OLED, солнечных батарей и других изделий.
